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| 无水氟化氢（HF） | |
| 化学式 | HF |
| 中文名称 | 氟化氢 |
| 英文名称 | Hydrogen fluoride |
| CAS No. | 7664-39-3 |
| 分子量 | 20.0064 |
| 充装系数 | 0.83kg/L |
| 应用 | 在MEMS 的蚀刻工艺中，高纯度无水氟化氢（HF）与二氟化氙(XeF2)用于去除硅的牺牲区域。 |
| 产品规格 | ≥99.9%~≥99.999% |
百科：
工业无水氟化氢是一种用途广泛的化工产品，外观为无色发烟液体的99%以上的氢氟酸，在减压或高温下易气化。主要用作制取氟盐、氟卤烷烃、氟致冷剂、腐蚀玻璃、浸渍木材、电解元素氟等。
无水氟化氢也称为无水氢氟酸，与一般氢氟酸不同，一般氢氟酸是氟化氢气体溶解于水所形成的酸液，氟化氢是气体,是纯净物。氢氟酸是混合物。
无水氟化氢，高纯度，常温下为气体，如果是特殊情况也能使液体和固体。
艾佩科（上海）气体有限公司
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