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JD-1200全自动软轴单晶炉，是软轴提拉型单晶炉，是在惰性气体环境中，以石墨电阻加热器，将一定纯度的硅材料熔化，用直拉法生长无位错单晶的设备，它可生产太阳能光伏电池和大规模集成电路所需要的高质量单晶。该设备**可使用28英寸的热系统，**熔料370kg，拉制10英寸或以下的单晶。由于投料量的增大，产能比JD-1100炉型提高20%以上，是JD-1100型单晶炉的姊妹机型，除具有JD-1100型单晶炉的特性外，从外观设计、维护维修便利性、自动化程度和各项性能指标等方面，均有很大幅度的提升。
1 |
型号 |
JD-1200 |
2 |
名称 |
单晶硅炉 |
3 |
电源电压 |
380V |
4 |
电源频率 |
50Hz |
5 |
加热方式、加热组件 |
电阻加热、石墨加热器 |
6 |
主加热器**功率 |
165KW |
7 |
主加热器**加热电压/电流 |
55V/3000A |
8 |
辅加热器**功率 |
60KW |
9 |
辅加热器**加热电压/电流 |
50V/1200A |
10 |
整机功率 |
≤240KW |
11 |
炉内**温度 |
1600℃ |
12 |
冷态炉内极限真空度 |
﹤3Pa |
13 |
生长晶体的直径范围 |
≦10″ |
14 |
熔料重量 |
Max 370kg |
15 |
原料 |
多晶硅原料 |
16 |
主炉室尺寸 |
Ф1200×1400mm |
17 |
旋转阀通径 |
¢360 |
18 |
副室+操作室尺寸 |
¢360×4600mm |
19 |
籽晶拉速范围 |
0.1～10mm/min |
20 |
籽晶快速 |
≥500mm/min |
21 |
籽晶转速范围 |
2-30rmp |
22 |
坩埚升速范围 |
0.02～1mm/min |
23 |
坩埚转速范围 |
1-30rpm |
24 |
籽晶在副室内有效行程 |
≥4000mm |
25 |
主机总高 |
10242mm |
26 |
主机占地面积 |
2518mm×1700mm |
27 |
整机占地面积 |
5500mm×6500mm |
28 |
进水量的要求（压力） |
**0.40Mpa 压差0.2Mpa |
29 |
冷却水用量/台 |
>25 m3/h |
30 |
冷却水进水温度 |
25-28℃ |
31 |
氩气用量/台 |
0.3Mpa~0.7Mpa≈110L/min |
北京京运通科技股份有限公司
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