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设备特点
1. 高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成，**真空可达10-4Pa；
2. 可配合压强控制仪控制气体压力，实现负压的精准控制；
3. 数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；
4. 每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全性和连续均匀性；
5. 采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷；
6. 管路采用世界**Swagelok卡套连接，不漏气；
7. 超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，使用安全可靠；
8. PECVD借助射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，更容易发生反应。
设备参数
类别 |
加热炉 |
射频电源 |
真空系统 |
混气系统 |
压强控制系统 |
尾气处理系统 |
||||
温度 |
加热区 |
型式 |
管径 |
长度 |
||||||
CVD |
1200～ 1700℃ |
220～ 440mm |
卧式、滑动式 |
Φ60～ Φ100 |
600～ 1600 |
无 |
10Pa |
MFC单路或多路控制 |
可选 |
（可选） |
CVI |
1200～ 1700℃ |
220～ 440mm |
立式、滑动式 |
Φ60～ Φ100 |
600～ 1600 |
无 |
||||
PECVD |
1200℃ |
220～ 440mm |
卧式、滑动式 |
Φ60～ Φ100 |
1200～ 1600 |
300～ 500W |
||||
上海哈腾电炉设备有限公司
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