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设备特点
1. 升降温速度快，升温采用环形红外短波加热器，*快升温速率可达200℃/s，降温时通过将炉膛退出，实现对产品的快速降温；
2. 测温采用精准的S型金属热电偶直接测量产品表面，使加热工件的温度更加准确；
3. 控制数学控制数学模型采用先进的PID自学习模糊双闭环控制模式，使控温精度在快速升温的恒温状态仍能保持在±3℃；
4. 功能多样化，既可以用于材料的快速升降温退火，也可用于化学气相沉积（CVD）法，在镍或铜箔上制备石墨烯的制备。
设备参数
电源 |
AC380~400V，50HZ（60Hz定制） |
**功率 |
15Kw |
额定温度 |
1100℃ |
使用温度 |
≤1000℃ |
反应腔室尺寸 |
Φ100X200 |
温场均匀性 |
±3℃ |
温度控制模式 |
智能模糊全闭环PID控制 |
传感器内型 |
S型单铂铑 |
*快升温速率 |
200℃/s |
降温速率 |
1～200℃/s（通氮气，速率更快） |
操作方式 |
触摸屏控制 |
真空系统 |
选配 |
进出气接口 |
Φ6卡套 |
本产品接受非标定制 | |
上海哈腾电炉设备有限公司
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