闭环多晶硅生产工艺体系
江苏鑫华半导体材料科技有限公司立足于拥有自主知识产权的“GCL法多晶硅生产工艺”,并联合国内多所研究机构、高等院校和设备制造商一起,融合国内外先进的多晶硅生产工艺,实现了现有多晶硅生产工艺的突破和创新,开发完成了一套完整的电子级多晶硅生产体系。
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