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三氯化硼(BCl3)

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艾佩科(上海)气体有限公司
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  • 产品介绍
三氯化硼(BCl3)


化学式 BCl3
中文名称 三氯化硼
英文名称 Boron  Trichloride
CAS No. 10294-34-5
分子量 117.17
充装系数 1.20kg/L
应用 在半导体生产中用于P型半导体的扩散源;离子注入;等离子刻蚀金属。用于多种化学反应。
产品规格 99.9%~99.9999%


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