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单片式-8吋托盘 Si外延设备零部件

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产品介绍

产品介绍及用途：	放置Si衬底，用于生长Si外延片
产品所处设备位置：	反应腔内，直接接触晶圆
主要下游产品：	集成电路
主要终端市场：	消费电子

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